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    涡旋干式真空泵的应用

    发布时间:2018-07-11 16:48:40 来源:admin
    涡旋机械具有广泛的应用领域,主要有涡旋压缩机、涡旋增压器、涡旋真空泵等。
     
    其中制冷与空调是涡旋机械应用最为广泛和成熟的领域,主要包括柜式空调用全封闭制冷压缩机、窗式空调用小功率压缩机以及汽车空调系统用涡旋压缩机。德国大众公司开发了著名的G增压器,将发动机功率提高了35%。
     
    作为干式真空泵的一种,涡旋式真空泵与其他的无油真空泵相比具有低噪、低振、能耗低等特点,已经广泛应用于众多科学研究与生产领域中:
     
    (1)半导体行业—薄膜制备设备、高端超大规模集成电路制备、半导体器件封装设备;
     
    (2)真空冶金行业—真空炉、几真空检测设备、纳米材料制备设备;
     
    (3)科学仪器行业—同步辐射装置、扫描电子显微镜、高分辨率质谱仪等分析测试仪器;
     
    (4)医疗设备—牙科仪器、透析机;
     
    (5)生物制品行业—材料提纯、药品制备;
     
    (6)包装行业—药品、食品、生物制品等包装设备。
     
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